試驗真空環境（jìng）模擬為了考核和研究某些活動（dòng）部件、伸展機構的幹（gàn）摩擦、冷焊性能和研究（jiū）材料在（zài）真空條件下的升華、重量損失（shī）、老化等效應，需要在更高的真空度（dù）和其他空間環境因（yīn）素的組合下進行試驗。大家都知道現在真空（kōng）係統在各個行業的應用越來（lái）越廣泛，下麵我們為（wéi）大（dà）家介紹一下現在常用的真空係統真空係統在（zài）熱真空試驗設備（bèi）中（zhōng）的應用吧。

普諾（nuò）克真空係統應用（yòng）於（yú）半導（dǎo）體、集成電路、光（guāng）電器件的製造工藝過程，是集成電路專用設備中的關鍵設（shè）備之一；它也用於各種其它鍍膜設備和真空應用設備中。

熱真空試驗是指（zhǐ）在真（zhēn）空和一定的溫（wēn）度條件下驗證航天器及其組件各種性能與功能的試（shì）驗，由冷浸（jìn）、熱浸與變（biàn）溫過程組成。其環（huán）境條（tiáo）件為真空度優於6.5×10-3Pa；具有冷黑背景，半球（qiú）法向（xiàng）發射率大（dà）於0.90。在模擬試驗時（shí），試件多處於工作狀態（tài）並測量其工作參數和環境參數。冷浸是使航（háng）天（tiān）器（qì）及其組件處於規定的試驗最低溫度，並停留規定的時間；熱浸是（shì）使其處於規定的試驗最高溫度，並停留（liú）規定的時間。從室溫開始降至規定的試驗（yàn）最低溫度，實行冷浸再上升至規定的試驗最高溫度，實習熱浸（jìn），最後回到室溫，成為一個溫（wēn）度循環。

熱真空試驗設備又稱空間（jiān）環境模擬設備或空間模擬（nǐ）器，它是模擬衛星及（jí）其組件在軌（guǐ）道運行中的（de）高真（zhēn）空條件下，對衛星組件進行考（kǎo）驗，這就是通常說（shuō）的（de）組（zǔ）件熱（rè）真空試驗。熱真空試驗箱主要由真空（kōng）容器（qì）、熱沉與輻射屏、試驗平台、製冷、加熱（rè）係統（tǒng）、真空係統、真空（kōng）係統、循環水係統、供氣係（xì）統、測量與控製係統及（jí）安全保護係統組成（chéng）。

普（pǔ）諾克真空係統在熱真空試驗設備中（zhōng）的應用的使用說明

真空係統在投入生產使用前，必須仔細檢查各部（bù）位緊固件是（shì）否有鬆動現象，若有鬆動必須校正擰緊（jǐn）。開車前水箱必須加（jiā）滿水，打（dǎ）開泵進口閥，再運行耐腐泵，嚴禁（jìn）泵脫水空轉及反（fǎn）轉，以防止損壞機封（fēng）、葉輪及泵體其它部件。真（zhēn）空係統停車前先打開放空閥或等真（zhēn）空度降至0.092MPa以下，再停車。以防真空度過（guò）高形成倒吸損壞止回閥（fá）。（如止回閥失靈，請（qǐng）打（dǎ）開止回（huí）閥（fá）蓋（gài），清除（chú）雜物）。在使用汽水串聯噴射真空係統時，先開車再打開蒸汽閥，停車時（shí）先關掉蒸汽閥再停（tíng）車，以（yǐ）防止溫度過高（gāo）而損壞水噴（pēn）射真空（kōng）泵。真空係統在安裝蒸汽（qì）管路（lù）時，管路一定要保持水（shuǐ）平，防止管內（nèi）有積水，否則將影響真空效果。水箱內的循環水應經常更換或補充，盡量保持較底的水（shuǐ）溫，因為水溫過高會影響排氣量和真空度。