2019-09-03
旋片真空泵在薄膜技術領域中的應用
薄膜技術多為無形但高效(xiào)的(de),其應用包括:建築玻璃上鍍膜以隔熱和防輻射,眼鏡片上鍍膜以防止眩光和(hé)劃傷,光盤與冷(lěng)光燈鍍膜以加強光(guāng)和射線的反(fǎn)射,工具和軸承上鍍膜以避免磨損等。如果不采用旋片真空泵及特(tè)殊設計的真空部件,這些都不可能實現(xiàn)。那(nà)麽,旋片真空(kōng)泵在(zài)薄膜技(jì)術領域中的應用究竟發(fā)揮一個什麽樣子的作用?跟著普(pǔ)諾克的小編一起來了解下。

薄膜分類(按功能及(jí)其應用領域):
(1)電學薄膜
①半導體(tǐ)器件與集成電(diàn)路中使用的導電材料與介質薄膜材(cái)料
②超導薄膜
③光電子器件中(zhōng)使用(yòng)的功能(néng)薄膜
④薄膜敏感元件與固態傳感(gǎn)器
⑤薄膜電阻、薄(báo)膜電容、薄膜阻容網(wǎng)絡與混合集成電路
⑥薄膜太陽能電池
⑦平板顯示器件
⑧用(yòng)ZnO、AIN等薄膜製成的聲表麵波濾波(bō)器
⑨磁記錄薄膜與薄膜磁頭(tóu)
(2)光(guāng)學薄膜
減反射(shè)膜、反射膜、分光鏡、濾(lǜ)光(guāng)片;
照明光源所用的(de)反(fǎn)熱鏡與冷光鏡薄膜;
建築物、汽車等交通工具所用的鍍膜玻璃;
激光唱片與光盤中的光(guāng)存儲薄(báo)膜;
集(jí)成光學元件所用的介質(zhì)薄膜與半導體薄膜。
(3)硬質膜、耐蝕膜、潤滑膜
(4)有機分子薄膜
(5)裝(zhuāng)飾膜
(6)包裝膜
薄膜是一種特殊的物質形態,由於其在厚度這一特定方向上尺寸(cùn)很小,隻是微觀可測的量,而且(qiě)在厚(hòu)度方向上由於表麵、界(jiè)麵的存在,使物質連續性發生中斷,由此使(shǐ)得薄膜材料產生了與塊狀(zhuàng)材料不同的獨特性能。薄(báo)膜的製備(bèi)方法很(hěn)多,如氣相生長法、液相生長(zhǎng)法(或氣、液相(xiàng)外延法)、氧化法、擴散與塗布法、電鍍法等等,而每一種製膜方法中又可分為若幹種方法。薄膜技(jì)術涉及的範圍很廣,它包括以物理氣相沉積和化學氣(qì)相沉積為代表的成膜技術,以離子束刻蝕為代表的微細(xì)加工技術,成膜、刻蝕過程的監控技術,薄膜(mó)分析、評價與檢測技(jì)術等等。現在薄膜技(jì)術用旋片真空泵在電子元器件、集成光學、電子(zǐ)技術、紅外技術、激光技術以及航天技術和光學儀器等各個(gè)領域都得到了廣泛的應用,它(tā)們不僅成為一間獨立的應用技術,而且成為材(cái)料表麵改性和提高某些工藝水平的重要手段。
除了旋片真空泵(bèng)在薄膜技術領域中的(de)應用,91污旋(xuán)片(piàn)真空泵還常常應用於環保的工藝,有利於取代那些危害環境的工藝。真空泵及其它真空部(bù)件,可廣泛應用於以下各工業領域:如測量儀器和檢漏儀、食品真空包(bāo)裝、環保冰箱(xiāng)、空(kōng)調、高純度與高強度金屬的生(shēng)產(chǎn)、燈泡和彩色(sè)顯像管、平麵(miàn)顯(xiǎn)示器製造等。
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