真空係統在掃描電（diàn）鏡中的應（yīng）用，掃描電鏡（jìng）被廣泛（fàn）的應用在半導（dǎo）體、實驗室（shì）等領域。掃描電鏡也是借助高（gāo）真空係統。電鏡的高真空（kōng）係統（tǒng）是有（yǒu）分子泵和前級泵組成，分子泵一般采用脂潤（rùn）滑或磁懸浮的分子泵，前級（jí）泵是采用雙級油旋片真（zhēn）空泵，或無油渦旋泵作（zuò）為前級泵。前級泵是輔助分子泵運行的，前（qián）級泵先將腔（qiāng）體抽到10pa以後再啟動分子泵。分子泵啟（qǐ）動後再（zài）將係（xì）統抽到（dào）-3pa~-4pa左右。

掃描電子顯微鏡，是自上世紀60年代作為商用電鏡麵世以來迅速發展（zhǎn）起（qǐ）來的一種新型的電子光學儀器，被廣泛地（dì）應用於化學（xué）、生物、醫學、冶（yě）金、材料（liào）、半導體製造、微電路檢查等各個研究領域和工業部門。

在材料領域中，掃描電鏡技術發揮著極其重要的作用，被廣泛應用於各種材料的形態結構、界麵狀況、損傷（shāng）機製及材料性能預測等方麵的研（yán）究。利用掃描電鏡可以直接研究晶體缺陷及其產生（shēng）過程（chéng），可以觀察金屬材料內部原子的集結方式和它（tā）們的真實邊界，也可以（yǐ）觀察在不同條件下邊界移動的方式，還可以檢查晶體在表麵機械加工中引起的損傷和輻射損傷等。

真空（kōng）係統在掃描電鏡中具有什麽產品特點呢？

應用（yòng）於掃描電鏡的真空係統具有製樣簡單、放大倍數可調範圍寬、圖像的分辨率高、景深大、保真度高、有真實的三維效應等特點，對於導電材料，可直接放入樣品室進行分（fèn）析，對於導電性差或絕緣的樣品則需要（yào）噴鍍導電層。

真空（kōng）係統主要包括真空泵和真空柱兩部分。真（zhēn）空柱是一個（gè）密（mì）封的柱（zhù）形容器（qì）。真空泵用（yòng）來在真空柱內產生真空。有機械泵、油擴散泵以及渦輪分子泵三大（dà）類，機械泵加油擴散泵的組合（hé）可（kě）以滿足配（pèi）置鎢燈絲槍的掃描電鏡的真空要求，但對於裝置了場致（zhì）發射槍或六硼化鑭及六硼化鈰槍的掃描電鏡，則需要機械泵加渦輪分子泵的組合。成象係統和電子束係統均內置在真空柱中。真空柱底端即（jí）為右圖所示的樣品室，用於放置樣品（pǐn）。

掃描電鏡可粗略分為（wéi）鏡體和電源電路係統兩部分（fèn）。鏡體部分由電子光（guāng）學係統、信號收集和顯（xiǎn）示係統以及真空抽氣係統組成。東莞真空（kōng）係（xì）統的作（zuò）用是為保證電子光學係統正常工作，防止樣品汙染，一般情況下要求保持10-4~10-5Torr的真空度。

掃描電鏡（jìng）需要真空的原因包括：一是電子束（shù）係統中的燈絲在普通大氣中會迅（xùn）速氧化而失（shī）效，所以需要（yào）抽真空。二（èr）是為了增大電子的平均自由程（chéng），從而使得用（yòng）於成象的電子更多（duō）。

91污真空係統（tǒng）在掃描電鏡中（zhōng）的（de）應用，能夠靠電子束掃（sǎo）描物體表（biǎo）麵來（lái）成像的（de）。空氣的存（cún）在會使的電子束變型，影響掃（sǎo）描效果，因此需要使用到真空係（xì）統抽真空。如（rú）果對91污真空係（xì）統感興趣的話，都可以撥打我司（sī）的客戶熱線。